激光干涉仪根据不同的光学基础有多种类型的干涉仪产品，但干涉仪因为其原理整体产品有以下优缺点
优点：
第一、高精度
以光学组件来说, 因为组件的微小变化均会严重改变原有的光学质量，因此必须要有非常精确的测量仪器, 干涉仪具有精度非常高的优点, 最高可达1/100的波长甚至到1/1000的波长, 波长是指干涉仪中使用光源的波长值.举例来说：一般干涉仪的波长为632.8( nm ),而 632.8的百分之一约为6个(nm) , 目前的纳米科技是在这个尺度, 甚至有些更好的干涉仪可以到0.6个(nm)
第二、测量方式为非接触式测量
另一种测量用的轮廓仪是使用接触式的测量方式, 即使目前已可以微调接触的力量, 但对于表面较脆弱的被测量物是否真的完全不会造成损害则仍无法确定.而当用干涉仪测量时, 是把光照射到被测量的物体上, 所以干涉仪上的探针也就是光, 并不会对物体表面照成任何伤害
第三、速度快
使用探针来测量时无法一次测量所有的面积, 而可能必需分很多扫瞄线去测量, 相对来说, 干涉仪的测量速度就非常快了, 可能几秒钟就测完了, 而不需要等待几个小时的时间
缺点：
使用门槛高
一个操作员在会使用干涉仪却不太清楚干涉仪的使用限制、条件及原理的时候, 可能会测量到不是他所要的东西, 而且, 因为干涉仪是用光线测量, 在调整上也会花费多的时间, 可能测量结果只要花几秒钟, 但事前的调整却要花费几十分钟甚至数个小时