激光干涉仪是一种常用的测量仪器，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量，被广泛用于多个行业中。
激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
影响激光干涉仪测量精度的主要因素：
1. 激光频率稳定性：在激光干涉仪中，将激光波长作为长度基准，激光频率变化直接影响测量结果。
2. 大气折射率。
3. 死程误差：在零位时，激光干涉仪两相干光的还有一段光程差，这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差，死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。
4. 余弦误差：在测定三坐标测量机的定位误差时，需仔细调整，使光束与滑座的运动方向平等。
5. 脉冲当量误差：激光干涉仪显示的最小一个数所对应的量值称为脉冲当量。
6. 细分误差：在干涉条纹一个周期内，由插细分不均匀引起的误差。
7. 阿贝误差：为避免阿贝误差，需将角隅棱镜的顶点调整到所测的直线上，否则由于滑座的角运动误差引起阿贝误差。